সম্প্রতি, অনেক ব্যবহারকারী স্পাটারিং লেপ প্রযুক্তির সুবিধা এবং অসুবিধাগুলি সম্পর্কে জিজ্ঞাসা করেছেন, আমাদের গ্রাহকদের প্রয়োজনীয়তা অনুসারে, এখন আরএসএম প্রযুক্তি বিভাগের বিশেষজ্ঞরা সমস্যা সমাধানের আশায় আমাদের সাথে শেয়ার করবেন।সম্ভবত নিম্নলিখিত পয়েন্ট আছে:
1, ভারসাম্যহীন ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং
ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ক্যাথোডের ভিতরের এবং বাইরের চৌম্বকীয় মেরু প্রান্তের মধ্য দিয়ে যাওয়া চৌম্বকীয় প্রবাহ সমান নয়, এটি একটি ভারসাম্যহীন ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ক্যাথোড।সাধারণ ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ক্যাথোডের চৌম্বক ক্ষেত্র লক্ষ্য পৃষ্ঠের কাছাকাছি ঘনীভূত হয়, যখন ভারসাম্যহীন ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ক্যাথোডের চৌম্বক ক্ষেত্র লক্ষ্যের বাইরে বিকিরণ করে।সাধারণ ম্যাগনেট্রন ক্যাথোডের চৌম্বক ক্ষেত্র টার্গেট পৃষ্ঠের কাছাকাছি প্লাজমাকে শক্তভাবে সীমাবদ্ধ করে, যখন সাবস্ট্রেটের কাছের প্লাজমা খুব দুর্বল, এবং সাবস্ট্রেট শক্তিশালী আয়ন এবং ইলেকট্রন দ্বারা বোমাবাজি হবে না।ভারসাম্যহীন ম্যাগনেট্রন ক্যাথোড চৌম্বক ক্ষেত্র প্লাজমাকে লক্ষ্য পৃষ্ঠ থেকে অনেক দূরে প্রসারিত করতে পারে এবং স্তরটিকে নিমজ্জিত করতে পারে।
2, রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি (RF) স্পুটারিং
অন্তরক ফিল্ম জমা করার নীতি: অন্তরক টার্গেটের পিছনে স্থাপিত কন্ডাকটরে একটি নেতিবাচক সম্ভাবনা প্রয়োগ করা হয়।গ্লো ডিসচার্জ প্লাজমাতে, যখন ধনাত্মক আয়ন গাইড প্লেট ত্বরান্বিত হয়, তখন এটি থুতুর জন্য এটির সামনে অন্তরক লক্ষ্যবস্তুতে বোমাবর্ষণ করে।এই স্পুটারিং শুধুমাত্র 10-7 সেকেন্ডের জন্য স্থায়ী হতে পারে।এর পরে, ইনসুলেটিং টার্গেটে জমা হওয়া ইতিবাচক চার্জ দ্বারা গঠিত ইতিবাচক সম্ভাবনা কন্ডাকটর প্লেটের নেতিবাচক সম্ভাবনাকে অফসেট করে, তাই অন্তরক লক্ষ্যে উচ্চ-শক্তির পজিটিভ আয়নগুলির বোমাবর্ষণ বন্ধ হয়ে যায়।এই সময়ে, যদি বিদ্যুৎ সরবরাহের পোলারিটি বিপরীত হয়, ইলেকট্রনগুলি অন্তরক প্লেটের উপর বোমাবর্ষণ করবে এবং 10-9 সেকেন্ডের মধ্যে অন্তরক প্লেটের ধনাত্মক চার্জকে নিরপেক্ষ করবে, যার ফলে এটির সম্ভাব্য শূন্য হয়ে যাবে।এই সময়ে, পাওয়ার সাপ্লাই এর পোলারিটি বিপরীত করলে 10-7 সেকেন্ডের জন্য স্পুটারিং হতে পারে।
আরএফ স্পুটারিংয়ের সুবিধা: ধাতব লক্ষ্যবস্তু এবং অস্তরক লক্ষ্যবস্তু উভয়ই স্পটার করা যেতে পারে।
3, DC ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং
ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং আবরণ সরঞ্জামগুলি ডিসি স্পাটারিং ক্যাথোড লক্ষ্যে চৌম্বক ক্ষেত্র বৃদ্ধি করে, বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের ইলেকট্রনের গতিপথকে আবদ্ধ করতে এবং প্রসারিত করতে চৌম্বক ক্ষেত্রের লরেন্টজ বল ব্যবহার করে, ইলেকট্রন এবং গ্যাস পরমাণুর মধ্যে সংঘর্ষের সম্ভাবনা বৃদ্ধি করে, গ্যাস পরমাণুর আয়নকরণের হার, লক্ষ্যবস্তুতে বোমাবর্ষণকারী উচ্চ-শক্তি আয়নের সংখ্যা বৃদ্ধি করে এবং ধাতুপট্টাবৃত স্তরে বোমাবর্ষণকারী উচ্চ-শক্তি ইলেকট্রনের সংখ্যা হ্রাস করে।
প্ল্যানার ম্যাগনেট্রন স্পুটারিংয়ের সুবিধা:
1. লক্ষ্য শক্তি ঘনত্ব 12w/cm2 পৌঁছতে পারে;
2. লক্ষ্য ভোল্টেজ 600V পৌঁছতে পারে;
3. গ্যাসের চাপ 0.5pa পৌঁছতে পারে।
প্ল্যানার ম্যাগনেট্রন স্পটারিং এর অসুবিধা: টার্গেট রানওয়ে এলাকায় একটি স্পটারিং চ্যানেল গঠন করে, পুরো টার্গেট পৃষ্ঠের এচিং অসম, এবং টার্গেটের ব্যবহারের হার মাত্র 20% - 30%।
4, মধ্যবর্তী ফ্রিকোয়েন্সি এসি ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং
এটি বোঝায় যে মাঝারি ফ্রিকোয়েন্সি এসি ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং সরঞ্জামে, সাধারণত একই আকার এবং আকৃতির দুটি লক্ষ্য পাশাপাশি কনফিগার করা হয়, প্রায়শই যমজ লক্ষ্য হিসাবে উল্লেখ করা হয়।তারা স্থগিত ইনস্টলেশন.সাধারণত, দুটি লক্ষ্য একই সময়ে চালিত হয়।মাঝারি ফ্রিকোয়েন্সি এসি ম্যাগনেট্রন রিঅ্যাকটিভ স্পুটারিং প্রক্রিয়ায়, দুটি লক্ষ্য পালাক্রমে অ্যানোড এবং ক্যাথোড হিসাবে কাজ করে এবং তারা একই অর্ধচক্রে একে অপরকে অ্যানোড ক্যাথোড হিসাবে কাজ করে।যখন লক্ষ্যটি নেতিবাচক অর্ধ চক্রের সম্ভাবনায় থাকে, তখন লক্ষ্য পৃষ্ঠটি ধনাত্মক আয়ন দ্বারা বোমাবাজি এবং ছিটকে পড়ে;ধনাত্মক অর্ধচক্রে, প্লাজমার ইলেকট্রনগুলি লক্ষ্য পৃষ্ঠের অন্তরক পৃষ্ঠে জমা হওয়া ইতিবাচক চার্জকে নিরপেক্ষ করার জন্য লক্ষ্য পৃষ্ঠের দিকে ত্বরান্বিত হয়, যা শুধুমাত্র লক্ষ্য পৃষ্ঠের ইগনিশনকে দমন করে না, বরং "এর ঘটনাকেও দূর করে। অ্যানোড অন্তর্ধান"।
ইন্টারমিডিয়েট ফ্রিকোয়েন্সি ডাবল টার্গেট রিঅ্যাকটিভ স্পুটারিংয়ের সুবিধাগুলি হল:
(1) উচ্চ জমার হার।সিলিকন লক্ষ্যগুলির জন্য, মাঝারি ফ্রিকোয়েন্সি প্রতিক্রিয়াশীল স্পুটারিংয়ের জমার হার ডিসি প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিংয়ের 10 গুণ;
(2) স্পুটারিং প্রক্রিয়া সেট অপারেটিং পয়েন্টে স্থিতিশীল করা যেতে পারে;
(3) "ইগনিশন" এর ঘটনাটি বাদ দেওয়া হয়।প্রস্তুত অন্তরক ফিল্মের ত্রুটির ঘনত্ব ডিসি প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিং পদ্ধতির চেয়ে অনেক কম মাত্রার;
(4) উচ্চ স্তরের তাপমাত্রা ফিল্মের গুণমান এবং আনুগত্য উন্নত করতে উপকারী;
(5) যদি পাওয়ার সাপ্লাই আরএফ পাওয়ার সাপ্লাইয়ের চেয়ে লক্ষ্যের সাথে মেলানো সহজ হয়।
5, প্রতিক্রিয়াশীল ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং
স্পুটারিং প্রক্রিয়ায়, যৌগিক ফিল্ম তৈরি করতে স্পুটারড কণার সাথে বিক্রিয়া করার জন্য প্রতিক্রিয়া গ্যাস খাওয়ানো হয়।এটি একই সময়ে স্পুটারিং যৌগ লক্ষ্যের সাথে প্রতিক্রিয়া করার জন্য প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস সরবরাহ করতে পারে এবং এটি প্রদত্ত রাসায়নিক অনুপাতের সাথে যৌগিক ছায়াছবি প্রস্তুত করতে একই সময়ে স্পুটারিং ধাতু বা খাদ লক্ষ্যের সাথে প্রতিক্রিয়া করার জন্য প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস সরবরাহ করতে পারে।
প্রতিক্রিয়াশীল ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং যৌগিক ফিল্মের সুবিধা:
(1) ব্যবহৃত লক্ষ্যবস্তু এবং বিক্রিয়া গ্যাসগুলি হল অক্সিজেন, নাইট্রোজেন, হাইড্রোকার্বন, ইত্যাদি, যা সাধারণত উচ্চ-বিশুদ্ধতা পণ্য প্রাপ্ত করা সহজ, যা উচ্চ-বিশুদ্ধতা যৌগিক ফিল্ম তৈরির জন্য সহায়ক;
(2) প্রক্রিয়া পরামিতি সামঞ্জস্য করে, রাসায়নিক বা অ রাসায়নিক যৌগিক ফিল্ম প্রস্তুত করা যেতে পারে, যাতে ফিল্মগুলির বৈশিষ্ট্যগুলি সামঞ্জস্য করা যায়;
(3) সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা বেশি নয়, এবং সাবস্ট্রেটের উপর কিছু সীমাবদ্ধতা রয়েছে;
(4) এটি বৃহৎ-এলাকার অভিন্ন আবরণের জন্য উপযুক্ত এবং শিল্প উত্পাদন উপলব্ধি করে।
প্রতিক্রিয়াশীল ম্যাগনেট্রন স্পটারিং প্রক্রিয়ায়, যৌগিক স্পটারিংয়ের অস্থিরতা ঘটতে সহজ, প্রধানত সহ:
(1) যৌগিক লক্ষ্যমাত্রা প্রস্তুত করা কঠিন;
(2) আর্ক স্ট্রাইকিং (আর্ক স্রাব) লক্ষ্য বিষক্রিয়া এবং স্পুটারিং প্রক্রিয়ার অস্থিরতার কারণে সৃষ্ট ঘটনা;
(3) কম sputtering জমা হার;
(4) ফিল্মের ত্রুটির ঘনত্ব বেশি।
পোস্টের সময়: জুলাই-২১-২০২২