অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনিয়াম স্পুটারিং লক্ষ্যগুলির বৈশিষ্ট্য

সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট (IC) প্রযুক্তির অগ্রগতির সাথে, সমন্বিত সার্কিটগুলির সম্পর্কিত অ্যাপ্লিকেশনগুলি দ্রুত বিকশিত হয়েছে।অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনিয়াম খাদ স্পুটারিং টার্গেট, ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট মেটাল ইন্টারকানেক্টের উত্পাদনে একটি সহায়ক উপাদান হিসাবে, সাম্প্রতিক গার্হস্থ্য গবেষণায় একটি আলোচিত বিষয় হয়ে উঠেছে।RSM সম্পাদক আমাদের উচ্চ বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনিয়াম খাদ sputtering লক্ষ্য বৈশিষ্ট্য দেখাবে.

ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং টার্গেটের স্পুটারিং দক্ষতা আরও উন্নত করতে এবং জমা হওয়া ফিল্মের গুণমান নিশ্চিত করতে, প্রচুর সংখ্যক পরীক্ষা দেখায় যে অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনিয়াম অ্যালয় স্পাটারিং লক্ষ্যের রচনা, মাইক্রোস্ট্রাকচার এবং শস্য অভিযোজনের জন্য নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।

লক্ষ্যের শস্যের আকার এবং শস্যের অভিযোজন আইসি ফিল্মগুলির প্রস্তুতি এবং বৈশিষ্ট্যগুলিতে দুর্দান্ত প্রভাব ফেলে।ফলাফলগুলি দেখায় যে শস্যের আকার বৃদ্ধির সাথে জমার হার হ্রাস পায়;একই কম্পোজিশন সহ স্পুটারিং টার্গেটের জন্য, ছোট শস্যের আকারের লক্ষ্যের স্পুটারিং হার বড় শস্যের আকারের লক্ষ্যের চেয়ে দ্রুত;লক্ষ্যের শস্যের আকার যত বেশি অভিন্ন হবে, জমা হওয়া ছায়াছবির পুরুত্বের বন্টন তত বেশি।

একই স্পুটারিং ইন্সট্রুমেন্ট এবং প্রসেস প্যারামিটারের অধীনে, আল কিউ অ্যালয় টার্গেটের স্পাটারিং রেট পারমাণবিক ঘনত্বের বৃদ্ধির সাথে বৃদ্ধি পায়, তবে এটি সাধারণত একটি পরিসরে স্থিতিশীল থাকে।শস্যের আকার পরিবর্তনের সাথে পারমাণবিক ঘনত্বের পরিবর্তনের কারণে স্পুটারিং হারের উপর শস্যের আকারের প্রভাব;জমা করার হার মূলত আল কিউ খাদ লক্ষ্যের শস্য অভিযোজন দ্বারা প্রভাবিত হয়।(200) ক্রিস্টাল প্লেনের অনুপাত নিশ্চিত করার ভিত্তিতে, (111), (220) এবং (311) ক্রিস্টাল প্লেনের অনুপাতের বৃদ্ধি জমার হার বৃদ্ধি করবে।

অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনিয়াম খাদ লক্ষ্যগুলির শস্যের আকার এবং শস্য অভিযোজন প্রধানত ইনগট সমজাতীয়করণ, হট ওয়ার্কিং এবং রিক্রিস্টালাইজেশন অ্যানিলিং দ্বারা সামঞ্জস্য এবং নিয়ন্ত্রিত হয়।ওয়েফারের আকার 20.32cm (8in) এবং 30.48cm (12in) এ উন্নীত হওয়ার সাথে সাথে লক্ষ্যের আকারও বৃদ্ধি পাচ্ছে, যা অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনিয়াম খাদ স্পুটারিং লক্ষ্যগুলির জন্য উচ্চতর প্রয়োজনীয়তাকে এগিয়ে রাখে৷ফিল্মের গুণমান এবং ফলন নিশ্চিত করার জন্য, টার্গেট মাইক্রোস্ট্রাকচারকে ইউনিফর্ম করার জন্য লক্ষ্য প্রক্রিয়াকরণের পরামিতিগুলিকে কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে হবে এবং শস্যের অভিযোজন অবশ্যই শক্তিশালী (200) এবং (220) সমতল টেক্সচার থাকতে হবে।