আমরা সবাই জানি, ভ্যাকুয়াম আবরণে সাধারণত যে পদ্ধতিগুলি ব্যবহার করা হয় তা হল ভ্যাকুয়াম ট্রান্সপিরেশন এবং আয়ন স্পুটারিং।ট্রান্সপিরেশন লেপ এবং স্পুটারিং লেপের মধ্যে পার্থক্য কি?মানুষ এই ধরনের প্রশ্ন আছেচলুন আপনাদের সাথে ট্রান্সপিরেশন লেপ এবং স্পুটারিং লেপের মধ্যে পার্থক্য শেয়ার করি
ভ্যাকুয়াম ট্রান্সপিরেশন ফিল্ম হল রেজিস্ট্যান্স হিটিং বা ইলেক্ট্রন বিম এবং লেজার শেলিংয়ের মাধ্যমে 10-2Pa এর কম ভ্যাকুয়াম ডিগ্রী সহ একটি নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় ডেটাকে উত্তপ্ত করা, যাতে অণুর তাপীয় কম্পন শক্তি বা তথ্যের মধ্যে পরমাণুগুলি পৃষ্ঠের বাঁধাই শক্তিকে ছাড়িয়ে যায়, যাতে অনেক অণু বা পরমাণু বাষ্পীভবন বা বৃদ্ধি পায় এবং সরাসরি একটি ফিল্ম গঠনের জন্য সাবস্ট্রেটে তাদের জমা করে।আয়ন স্পুটারিং আবরণ বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের প্রভাবের অধীনে গ্যাস নিঃসরণ দ্বারা উত্পন্ন ইতিবাচক আয়নের উচ্চ রেমোনস্ট্রেন্স মুভমেন্ট ব্যবহার করে লক্ষ্যবস্তুতে ক্যাথোড হিসাবে বোমাবর্ষণ করে, যাতে লক্ষ্যবস্তুতে থাকা পরমাণু বা অণুগুলি ধাতুপট্টাবৃত ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠে জমা হতে পারে। প্রয়োজনীয় ফিল্ম।
ভ্যাকুয়াম ট্রান্সপিরেশন লেপের সবচেয়ে বেশি ব্যবহৃত পদ্ধতি হল রেজিস্ট্যান্স হিটিং পদ্ধতি।এর সুবিধাগুলি হল গরম করার উত্সের সহজ গঠন, কম খরচে এবং সুবিধাজনক অপারেশন।এর অসুবিধা হল যে এটি অবাধ্য ধাতু এবং উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধী মিডিয়ার জন্য উপযুক্ত নয়।ইলেক্ট্রন বিম হিটিং এবং লেজার হিটিং প্রতিরোধী গরম করার অসুবিধাগুলি কাটিয়ে উঠতে পারে।ইলেক্ট্রন বীম গরম করার ক্ষেত্রে, ফোকাসড ইলেক্ট্রন রশ্মি সরাসরি খোলসযুক্ত ডেটা গরম করতে ব্যবহার করা হয় এবং ইলেক্ট্রন বিমের গতিশক্তি ডেটা ট্রান্সপিরেশন করতে তাপ শক্তিতে পরিণত হয়।লেজার হিটিং উচ্চ-পাওয়ার লেজারকে গরম করার উত্স হিসাবে ব্যবহার করে, তবে উচ্চ-শক্তি লেজারের উচ্চ ব্যয়ের কারণে, এটি শুধুমাত্র অল্প সংখ্যক গবেষণাগারে ব্যবহার করা যেতে পারে।
স্পুটারিং দক্ষতা ভ্যাকুয়াম ট্রান্সপিরেশন দক্ষতা থেকে আলাদা।স্পাটারিং এমন ঘটনাকে বোঝায় যা চার্জযুক্ত কণাগুলি শরীরের পৃষ্ঠে (লক্ষ্য) বোমাবর্ষণ করে, যাতে পৃষ্ঠ থেকে কঠিন পরমাণু বা অণু নির্গত হয়।বেশিরভাগ নির্গত কণাই পারমাণবিক, যাকে প্রায়ই স্পুটারড পরমাণু বলা হয়।গোলাগুলির লক্ষ্যবস্তুতে ব্যবহৃত ছিদ্রযুক্ত কণাগুলি ইলেকট্রন, আয়ন বা নিরপেক্ষ কণা হতে পারে।যেহেতু আয়নগুলি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের অধীনে প্রয়োজনীয় গতিশক্তি প্রাপ্ত করা সহজ, আয়নগুলি বেশিরভাগ শেলিং কণা হিসাবে নির্বাচিত হয়।
স্পুটারিং প্রক্রিয়াটি গ্লো স্রাবের উপর ভিত্তি করে, অর্থাৎ, স্পাটারিং আয়নগুলি গ্যাস স্রাব থেকে আসে।বিভিন্ন স্পুটারিং দক্ষতার বিভিন্ন গ্লো ডিসচার্জ পদ্ধতি রয়েছে।ডিসি ডায়োড স্পুটারিং ডিসি গ্লো স্রাব ব্যবহার করে;Triode sputtering গরম ক্যাথোড দ্বারা সমর্থিত একটি গ্লো স্রাব;আরএফ স্পুটারিং আরএফ গ্লো স্রাব ব্যবহার করে;ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং হল একটি চকচকে স্রাব যা একটি বৃত্তাকার চৌম্বক ক্ষেত্র দ্বারা নিয়ন্ত্রিত হয়।
ভ্যাকুয়াম ট্রান্সপিরেশন লেপের সাথে তুলনা করে, স্পুটারিং লেপের অনেক সুবিধা রয়েছে।যদি কোন পদার্থ ছিটকে যেতে পারে, বিশেষ করে উচ্চ গলনাঙ্ক এবং কম বাষ্পের চাপ সহ উপাদান এবং যৌগ;sputtered ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেট মধ্যে আনুগত্য ভাল;উচ্চ ফিল্ম ঘনত্ব;ফিল্মের বেধ নিয়ন্ত্রণ করা যায় এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা ভাল।অসুবিধা হল যে সরঞ্জাম জটিল এবং উচ্চ-ভোল্টেজ ডিভাইস প্রয়োজন।
উপরন্তু, ট্রান্সপিরেশন পদ্ধতি এবং স্পুটারিং পদ্ধতির সমন্বয় হল আয়ন প্রলেপ।এই পদ্ধতির সুবিধা হল ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে শক্তিশালী আনুগত্য, উচ্চ জমার হার এবং ফিল্মের উচ্চ ঘনত্ব।
পোস্টের সময়: মে-০৯-২০২২