স্পুটারিং লক্ষ্য উপাদান প্রধান বৈশিষ্ট্য

আমরা এখন টার্গেটের সাথে খুব পরিচিত হতে হবে, এখন টার্গেট মার্কেটও বাড়ছে, নিচের স্পটারিং টার্গেটের মূল পারফরম্যান্সটি আরএসএম থেকে এডিটর শেয়ার করেছেন

　　বিশুদ্ধতা

লক্ষ্যবস্তুর বিশুদ্ধতা প্রধান কর্মক্ষমতা সূচকগুলির মধ্যে একটি, কারণ লক্ষ্যবস্তুর বিশুদ্ধতা পাতলা ফিল্মের কর্মক্ষমতার উপর একটি বড় প্রভাব ফেলে।যাইহোক, ব্যবহারিক প্রয়োগে, লক্ষ্য উপকরণগুলির বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা একই নয়।উদাহরণস্বরূপ, মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স শিল্পের দ্রুত বিকাশের সাথে সাথে, সিলিকন চিপের আকার 6 “, 8 “থেকে 12″ পর্যন্ত উন্নত করা হয়েছে এবং তারের প্রস্থ 0.5um থেকে 0.25um, 0.18um বা এমনকি 0.13um পর্যন্ত হ্রাস করা হয়েছে।পূর্বে, 99.995% লক্ষ্য উপাদানের বিশুদ্ধতা 0.35umIC-এর প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে।0.18um লাইনের প্রস্তুতির জন্য লক্ষ্যবস্তুর বিশুদ্ধতা 99.999% বা এমনকি 99.9999%।

　　অপবিত্রতা বিষয়বস্তু

টার্গেট কঠিনের অমেধ্য এবং ছিদ্রগুলিতে অক্সিজেন এবং জলীয় বাষ্প হল ফিল্ম জমার প্রধান দূষণের উত্স।বিভিন্ন উদ্দেশ্যে লক্ষ্য উপকরণের বিভিন্ন অশুদ্ধতা বিষয়বস্তুর জন্য বিভিন্ন প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।উদাহরণস্বরূপ, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যবহৃত বিশুদ্ধ অ্যালুমিনিয়াম এবং অ্যালুমিনিয়াম খাদ লক্ষ্যগুলির জন্য ক্ষারীয় ধাতু এবং তেজস্ক্রিয় উপাদানগুলির বিষয়বস্তুর জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।

　　ঘনত্ব

টার্গেট সলিডের ছিদ্রতা কমাতে এবং স্পুটারিং ফিল্মের কর্মক্ষমতা উন্নত করতে, লক্ষ্যের উচ্চ ঘনত্ব সাধারণত প্রয়োজন হয়।টার্গেটের ঘনত্ব শুধুমাত্র স্পুটারিং রেটকেই নয়, ফিল্মের বৈদ্যুতিক এবং অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্যকেও প্রভাবিত করে।টার্গেট ডেনসিটি যত বেশি হবে, ফিল্ম পারফরম্যান্স তত ভালো হবে।উপরন্তু, টার্গেটের ঘনত্ব এবং শক্তি বৃদ্ধির ফলে টার্গেটকে স্পুটারিং প্রক্রিয়ায় তাপীয় চাপ সহ্য করা যায়।ঘনত্ব লক্ষ্যের মূল কর্মক্ষমতা সূচকগুলির মধ্যে একটি।

　　শস্য আকার এবং শস্য আকার বন্টন

লক্ষ্যটি সাধারণত পলিক্রিস্টালাইন হয় যার আকার মাইক্রোমিটার থেকে মিলিমিটার পর্যন্ত।একই লক্ষ্যমাত্রার জন্য, ছোট শস্যের সাথে লক্ষ্যের স্পুটারিং হার বড় শস্যের লক্ষ্যের চেয়ে দ্রুত।ছোট শস্যের আকারের পার্থক্য (অভিন্ন বন্টন) সহ স্পুটারিং লক্ষ্য দ্বারা জমা হওয়া ছায়াছবির পুরুত্ব বন্টন আরও অভিন্ন।