ডেটা স্টোরেজ শিল্পে ব্যবহৃত লক্ষ্যবস্তুর জন্য উচ্চ বিশুদ্ধতা প্রয়োজন, এবং অমেধ্য এবং ছিদ্রগুলিকে ন্যূনতম করতে হবে যাতে স্পুটারিং এর সময় অপরিষ্কার কণা তৈরি না হয়।উচ্চ-মানের পণ্যগুলির জন্য ব্যবহৃত লক্ষ্যবস্তুর জন্য প্রয়োজন যে এর স্ফটিক কণার আকার ছোট এবং অভিন্ন হতে হবে এবং কোনও স্ফটিক অভিযোজন নেই।নীচে, এর লক্ষ্য উপাদানের জন্য অপটিক্যাল স্টোরেজ শিল্পের প্রয়োজনীয়তা কটাক্ষপাত করা যাক?
1. বিশুদ্ধতা
ব্যবহারিক প্রয়োগে, লক্ষ্য উপকরণের বিশুদ্ধতা বিভিন্ন শিল্প এবং প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী পরিবর্তিত হয়।যাইহোক, সামগ্রিকভাবে, লক্ষ্যবস্তুর বিশুদ্ধতা যত বেশি হবে, স্পুটারড ফিল্মের পারফরম্যান্স তত ভাল হবে।উদাহরণস্বরূপ, অপটিক্যাল স্টোরেজ শিল্পে, লক্ষ্যবস্তুর বিশুদ্ধতা 3N5 বা 4N এর চেয়ে বেশি হওয়া প্রয়োজন।
2. অপবিত্রতা বিষয়বস্তু
লক্ষ্যবস্তু স্পুটারিংয়ের ক্ষেত্রে ক্যাথোডের উত্স হিসাবে কাজ করে এবং ছিদ্রগুলিতে কঠিন এবং অক্সিজেন এবং জলীয় বাষ্পের অমেধ্য পাতলা ছায়াছবি জমা করার প্রধান দূষণের উত্স।এছাড়াও, বিভিন্ন ব্যবহারের লক্ষ্যগুলির জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।অপটিক্যাল স্টোরেজ ইন্ডাস্ট্রিকে উদাহরণ হিসেবে নিলে, আবরণের গুণমান নিশ্চিত করতে স্পটারিং টার্গেটের অপরিচ্ছন্নতা উপাদান খুব কম নিয়ন্ত্রণ করতে হবে।
3. শস্য আকার এবং আকার বিতরণ
সাধারণত, লক্ষ্যবস্তুর একটি পলিক্রিস্টালাইন গঠন থাকে, যার আকার মাইক্রোমিটার থেকে মিলিমিটার পর্যন্ত হয়।একই সংমিশ্রণ সহ লক্ষ্যগুলির জন্য, সূক্ষ্ম শস্যের লক্ষ্যগুলির স্পুটারিং হার মোটা শস্যের লক্ষ্যগুলির তুলনায় দ্রুত।ছোট শস্যের আকারের পার্থক্য সহ লক্ষ্যগুলির জন্য, জমা হওয়া ফিল্মের বেধও আরও অভিন্ন হবে।
4. কম্প্যাক্টনেস
কঠিন লক্ষ্যবস্তুতে পোরোসিটি কমাতে এবং ফিল্ম পারফরম্যান্সের উন্নতির জন্য, সাধারণত স্পুটারিং লক্ষ্যবস্তুর উচ্চ ঘনত্ব থাকা প্রয়োজন।লক্ষ্য উপাদানের ঘনত্ব মূলত প্রস্তুতি প্রক্রিয়ার উপর নির্ভর করে।গলিত এবং ঢালাই পদ্ধতি দ্বারা নির্মিত লক্ষ্যবস্তু নিশ্চিত করতে পারে যে লক্ষ্যবস্তুর ভিতরে কোন ছিদ্র নেই এবং ঘনত্ব খুব বেশি।
পোস্টের সময়: জুলাই-18-2023