বিশুদ্ধতা এবং কণার আকারের জন্যই নয়, তবে অভিন্ন কণার আকারের জন্যও, ব্যবহারের সময় স্পুটারযুক্ত লক্ষ্য উপকরণগুলির উচ্চ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।এই উচ্চ প্রয়োজনীয়তা আমাদের আরো মনোযোগ দিতে যখন sputtering লক্ষ্য উপকরণ ব্যবহার.
1. স্পুটারিং প্রস্তুতি
ভ্যাকুয়াম চেম্বারের পরিচ্ছন্নতা বজায় রাখা খুবই গুরুত্বপূর্ণ, বিশেষ করে স্পুটারিং সিস্টেম।লুব্রিকেন্ট, ধূলিকণা এবং পূর্ববর্তী আবরণের যেকোন অবশিষ্টাংশ পানির মতো দূষক পদার্থ জমা করতে পারে, যা সরাসরি ভ্যাকুয়ামকে প্রভাবিত করে এবং ফিল্ম গঠনের ব্যর্থতার সম্ভাবনা বাড়িয়ে দেয়।শর্ট সার্কিট, টার্গেট আর্কিং, রুক্ষ ফিল্ম-গঠন পৃষ্ঠ এবং অত্যধিক রাসায়নিক অমেধ্য সাধারণত অপরিষ্কার স্পুটারিং চেম্বার, বন্দুক এবং লক্ষ্যবস্তু দ্বারা সৃষ্ট হয়।
আবরণের গঠনগত বৈশিষ্ট্য বজায় রাখার জন্য, স্পুটারিং গ্যাস (আর্গন বা অক্সিজেন) পরিষ্কার এবং শুষ্ক হতে হবে।স্পটারিং চেম্বারে সাবস্ট্রেট ইনস্টল করার পরে, প্রক্রিয়াটির জন্য প্রয়োজনীয় ভ্যাকুয়াম স্তর অর্জনের জন্য বায়ু নিষ্কাশন করা প্রয়োজন।
2. লক্ষ্য পরিষ্কার
লক্ষ্য পরিচ্ছন্নতার উদ্দেশ্য লক্ষ্যের পৃষ্ঠে বিদ্যমান যে কোনও ধুলো বা ময়লা অপসারণ করা।
3. লক্ষ্য ইনস্টলেশন
লক্ষ্য উপাদানের ইনস্টলেশন প্রক্রিয়ার সময় মনোযোগ দিতে সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ বিষয় হল লক্ষ্য উপাদান এবং স্পুটারিং বন্দুকের শীতল প্রাচীরের মধ্যে একটি ভাল তাপ সংযোগ নিশ্চিত করা।যদি কুলিং প্রাচীর বা পিছনের প্লেটটি মারাত্মকভাবে বিকৃত হয়, তবে এটি লক্ষ্যবস্তু স্থাপনের সময় ক্র্যাকিং বা বাঁকানোর কারণ হতে পারে।পিছনের লক্ষ্য থেকে লক্ষ্যবস্তুতে তাপ স্থানান্তর ব্যাপকভাবে প্রভাবিত হবে, যার ফলে স্পুটারিং এর সময় তাপ ক্ষয় করতে অক্ষম হবে, শেষ পর্যন্ত লক্ষ্যবস্তুর ক্র্যাকিং বা বিচ্যুতি ঘটবে।
4. শর্ট সার্কিট এবং sealing পরিদর্শন
টার্গেট উপাদান ইনস্টল করার পরে, পুরো ক্যাথোডের শর্ট সার্কিট এবং সিলিং পরীক্ষা করা প্রয়োজন।ক্যাথোড শর্ট সার্কিট হয়েছে কিনা তা নির্ধারণ করতে একটি ওহমিটার এবং একটি মেগোহমিটার ব্যবহার করার পরামর্শ দেওয়া হয়।ক্যাথোড শর্ট সার্কিট নয় তা নিশ্চিত করার পরে, কোনও ফুটো আছে কিনা তা নির্ধারণ করতে ক্যাথোডে জল ইনজেকশনের মাধ্যমে একটি ফুটো সনাক্তকরণ করা যেতে পারে।
5. টার্গেট উপাদান প্রাক sputtering
লক্ষ্যবস্তুর প্রাক স্পুটারিং এর জন্য বিশুদ্ধ আর্গন গ্যাস ব্যবহার করার পরামর্শ দেওয়া হয়, যা লক্ষ্যবস্তুর পৃষ্ঠকে পরিষ্কার করতে পারে।লক্ষ্যবস্তুর জন্য স্পুটারিং প্রক্রিয়ার সময় ধীরে ধীরে স্পুটারিং পাওয়ার বাড়ানোর পরামর্শ দেওয়া হয়।সিরামিক লক্ষ্য উপাদান শক্তি
পোস্ট সময়: অক্টোবর-19-2023