খাদ লক্ষ্যমাত্রা জন্য সতর্কতা

1, স্পুটারিং প্রস্তুতি

ভ্যাকুয়াম চেম্বার, বিশেষ করে স্পাটারিং সিস্টেম পরিষ্কার রাখা খুবই গুরুত্বপূর্ণ।তৈলাক্ত তেল, ধূলিকণা এবং পূর্ববর্তী আবরণ দ্বারা গঠিত যেকোন অবশিষ্টাংশ জলীয় বাষ্প এবং অন্যান্য দূষক সংগ্রহ করবে, যা সরাসরি ভ্যাকুয়াম ডিগ্রীকে প্রভাবিত করবে এবং ফিল্ম গঠনের ব্যর্থতার সম্ভাবনা বাড়িয়ে দেবে।শর্ট সার্কিট বা টার্গেট আর্সিং, রুক্ষ ফিল্ম পৃষ্ঠ এবং অত্যধিক রাসায়নিক অপবিত্রতা প্রায়শই অপরিষ্কার স্পুটারিং চেম্বার, স্পুটারিং বন্দুক এবং লক্ষ্যবস্তু দ্বারা সৃষ্ট হয়।আবরণের রচনা বৈশিষ্ট্যগুলি মেনে চলার জন্য, স্পুটারিং গ্যাস (আর্গন বা অক্সিজেন) পরিষ্কার এবং শুকানো প্রয়োজন।সাবস্ট্রেটটি স্পুটারিং চেম্বারে ইনস্টল করার পরে, প্রক্রিয়াটির দ্বারা প্রয়োজনীয় ভ্যাকুয়ামে পৌঁছানোর জন্য বায়ু নিষ্কাশন করা প্রয়োজন।অন্ধকার এলাকায় কভার, গহ্বর প্রাচীর এবং সংলগ্ন পৃষ্ঠ এছাড়াও পরিষ্কার রাখা প্রয়োজন.ভ্যাকুয়াম চেম্বার পরিষ্কার করার সময়, আমরা কাঁচের বল শট ব্লাস্টিং ব্যবহার করার পরামর্শ দিই ধূলিময় অংশগুলিকে চিকিত্সা করার জন্য, চেম্বারের চারপাশে প্রাথমিক ছিটকে পড়া অবশিষ্টাংশগুলিকে মুছে ফেলার জন্য সংকুচিত বাতাসের সাথে, এবং তারপরে অ্যালুমিনা সংযোজিত স্যান্ডপেপার দিয়ে বাহ্যিক পৃষ্ঠকে শান্তভাবে পালিশ করুন৷গজ পেপার পলিশ করার পরে, এটি অ্যালকোহল, অ্যাসিটোন এবং ডিওনাইজড জল দিয়ে পরিষ্কার করা হয়।একসাথে, এটি সহায়ক পরিষ্কারের জন্য শিল্প ভ্যাকুয়াম ক্লিনার ব্যবহারের পক্ষে কথা বলে।গাওজান ধাতু দ্বারা উত্পাদিত লক্ষ্যগুলি ভ্যাকুয়াম সিল করা প্লাস্টিকের ব্যাগে প্যাক করা হয়,

আর্দ্রতা-প্রমাণ এজেন্ট মধ্যে নির্মিত.লক্ষ্য ব্যবহার করার সময়, আপনার হাত দিয়ে সরাসরি লক্ষ্য স্পর্শ করবেন না।দ্রষ্টব্য: লক্ষ্য ব্যবহার করার সময়, দয়া করে পরিষ্কার এবং লিন্ট মুক্ত রক্ষণাবেক্ষণের গ্লাভস পরিধান করুন।আপনার হাত দিয়ে সরাসরি লক্ষ্য স্পর্শ করবেন না

2, লক্ষ্য পরিষ্কার

লক্ষ্য পরিচ্ছন্নতার উদ্দেশ্য লক্ষ্যের পৃষ্ঠে বিদ্যমান ধুলো বা ময়লা অপসারণ করা।

ধাতব লক্ষ্য চারটি ধাপে পরিষ্কার করা যেতে পারে,

প্রথম ধাপ হল অ্যাসিটোনে ভিজিয়ে লিন্ট মুক্ত নরম কাপড় দিয়ে পরিষ্কার করা;

দ্বিতীয় ধাপটি প্রথম ধাপের অনুরূপ, অ্যালকোহল দিয়ে পরিষ্কার করা;

ধাপ 3: ডিওনাইজড জল দিয়ে পরিষ্কার করুন।ডিওনাইজড জল দিয়ে ধোয়ার পরে, টার্গেটটিকে ওভেনে রাখুন এবং 100 ℃ তাপমাত্রায় 30 মিনিটের জন্য শুকিয়ে নিন।

অক্সাইড এবং সিরামিক লক্ষ্যগুলি পরিষ্কার করা হবে "লিন্ট মুক্ত কাপড়" দিয়ে।

চতুর্থ ধাপ হল ধুলোময় স্থান অপসারণের পরে উচ্চ চাপ এবং কম জলের গ্যাস দিয়ে আর্গন দিয়ে লক্ষ্যটি ধুয়ে ফেলা, যাতে স্পুটারিং সিস্টেমে চাপ তৈরি করতে পারে এমন সমস্ত অপবিত্রতা কণা অপসারণ করা যায়।

3, টার্গেট ডিভাইস

টার্গেট ইনস্টলেশনের প্রক্রিয়ায়, Z গুরুত্বপূর্ণ সতর্কতা হল লক্ষ্য এবং স্পুটারিং বন্দুকের শীতল প্রাচীরের মধ্যে একটি ভাল তাপ পরিবাহী সংযোগ নিশ্চিত করা।যদি কুলিং স্টেভের ওয়ারপেজ গুরুতর হয় বা পিছনের প্লেটের ওয়ারপেজ গুরুতর হয়, তাহলে টার্গেট ডিভাইসটি ক্র্যাক বা বাঁকবে এবং পিছনের লক্ষ্য থেকে লক্ষ্য পর্যন্ত তাপ পরিবাহিতা ব্যাপকভাবে প্রভাবিত হবে, যার ফলে তাপ অপচয় ব্যর্থ হবে। sputtering প্রক্রিয়ায়, এবং লক্ষ্য ক্র্যাক বা মিস হবে

তাপ পরিবাহিতা নিশ্চিত করার জন্য, ক্যাথোড কুলিং প্রাচীর এবং লক্ষ্যের মধ্যে গ্রাফাইট কাগজের একটি স্তর প্যাড করা যেতে পারে।অনুগ্রহ করে মনোযোগ সহকারে পরীক্ষা করুন এবং ও-রিংটি সর্বদা যথাস্থানে রয়েছে তা নিশ্চিত করতে ব্যবহৃত স্পুটারিং বন্দুকের শীতল দেয়ালের সমতলতা পরিষ্কার করুন।

যেহেতু ব্যবহৃত কুলিং ওয়াটারের পরিচ্ছন্নতা এবং যন্ত্রপাতির অপারেশন চলাকালীন ঘটতে পারে এমন ধুলো ক্যাথোড কুলিং ওয়াটার ট্যাঙ্কে জমা করা হবে, তাই মসৃণ নিশ্চিত করতে লক্ষ্যটি ইনস্টল করার সময় ক্যাথোড কুলিং ওয়াটার ট্যাঙ্কটি পরীক্ষা করা এবং পরিষ্কার করা প্রয়োজন। শীতল জলের সঞ্চালন এবং খাঁড়ি এবং আউটলেট ব্লক করা হবে না।

কিছু ক্যাথোডে অ্যানোডের সাথে একটি ছোট জায়গা রাখার পরিকল্পনা করা হয়েছে, তাই লক্ষ্যটি ইনস্টল করার সময়, ক্যাথোড এবং অ্যানোডের মধ্যে কোনও স্পর্শ বা কন্ডাকটর নেই তা নিশ্চিত করতে হবে, অন্যথায় একটি শর্ট সার্কিট ঘটবে।

কিভাবে সঠিকভাবে টার্গেট পরিচালনা করতে হয় সে সম্পর্কে তথ্যের জন্য সরঞ্জাম অপারেটরের ম্যানুয়াল পড়ুন।ব্যবহারকারীর ম্যানুয়ালটিতে যদি এমন কোনও তথ্য না থাকে তবে দয়া করে গাওজান ধাতু দ্বারা প্রদত্ত প্রাসঙ্গিক পরামর্শ অনুসারে ডিভাইসটি ইনস্টল করার চেষ্টা করুন।টার্গেট ফিক্সচারকে শক্ত করার সময়, প্রথমে একটি বোল্ট হাত দিয়ে শক্ত করুন এবং তারপরে হাত দিয়ে তির্যকের উপর আরেকটি বোল্ট শক্ত করুন।ডিভাইসের সমস্ত বোল্ট শক্ত না হওয়া পর্যন্ত এটি পুনরাবৃত্তি করুন এবং তারপরে কিছু দিয়ে শক্ত করুন।

4, শর্ট সার্কিট এবং নিবিড়তা পরিদর্শন

লক্ষ্য ডিভাইসের সমাপ্তির পরে, পুরো ক্যাথোডের শর্ট সার্কিট এবং নিবিড়তা পরীক্ষা করা প্রয়োজন,

একটি রেজিস্ট্যান্স মিটার ব্যবহার করে ক্যাথোডে শর্ট সার্কিট আছে কিনা তা নির্ধারণ করার প্রস্তাব করা হয়েছে

সারি বৈষম্য।ক্যাথোডে কোনও শর্ট সার্কিট নেই তা নিশ্চিত করার পরে, লিক সনাক্তকরণ করা যেতে পারে এবং জলের ফুটো আছে কিনা তা নিশ্চিত করতে ক্যাথোডে জল প্রবেশ করানো যেতে পারে।

5, টার্গেট প্রাক sputtering

টার্গেট প্রি স্পুটারিং বিশুদ্ধ আর্গন স্পুটারিং সমর্থন করে, যা লক্ষ্যের পৃষ্ঠকে পরিষ্কার করতে পারে।যখন টার্গেটটি প্রি স্পুটার করা হয়, তখন ধীরে ধীরে স্পুটারিং পাওয়ার বাড়ানোর পরামর্শ দেওয়া হয় এবং সিরামিক টার্গেটের পাওয়ার বৃদ্ধির হার হল 1.5WH/cm2।ধাতব লক্ষ্যের প্রাক স্পাটারিং গতি সিরামিক টার্গেট ব্লকের চেয়ে বেশি হতে পারে এবং একটি যুক্তিসঙ্গত শক্তি বৃদ্ধির হার হল 1.5WH/cm2।

প্রি স্পুটারিং প্রক্রিয়ায়, আমাদের লক্ষ্যের আর্কিং পরীক্ষা করতে হবে।প্রি স্পুটারিং সময় সাধারণত প্রায় 10 মিনিট।কোন arcing ঘটনা না থাকলে, ক্রমাগত sputtering শক্তি বৃদ্ধি

সেট ক্ষমতা.অভিজ্ঞতা অনুযায়ী, ধাতু লক্ষ্যের গ্রহণযোগ্য Z উচ্চ sputtering শক্তি হয়

25watts/cm2, 10watts/cm2 সিরামিক টার্গেটের জন্য।ব্যবহারকারীর সিস্টেম অপারেশন ম্যানুয়াল মধ্যে sputtering সময় ভ্যাকুয়াম চেম্বারের চাপ সেটিং ভিত্তি এবং অভিজ্ঞতা পড়ুন.সাধারণত, এটি নিশ্চিত করা উচিত যে শীতল জলের আউটলেটে জলের তাপমাত্রা 35 ℃ থেকে কম হওয়া উচিত, তবে Z এটি নিশ্চিত করা গুরুত্বপূর্ণ যে শীতল জলের সঞ্চালন ব্যবস্থা কার্যকরভাবে কাজ করতে পারে।

সুপারকুলিং জলের দ্রুত সঞ্চালন তাপ কেড়ে নেয়, যা উচ্চ শক্তির সাথে অবিচ্ছিন্ন স্পুটারিং নিশ্চিত করার জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ গ্যারান্টি।ধাতু লক্ষ্যবস্তু জন্য, এটা সাধারণত সমর্থন করা হয় যে শীতল জল প্রবাহ হয়

20lpm জলের চাপ প্রায় 5gmp;সিরামিক লক্ষ্যগুলির জন্য, এটি সাধারণত সমর্থন করা হয় যে জলের প্রবাহ 30lpm এবং জলের চাপ প্রায় 9gmp

6, লক্ষ্য রক্ষণাবেক্ষণ

স্পুটারিং প্রক্রিয়ায় অপরিষ্কার গহ্বরের কারণে সৃষ্ট শর্ট সার্কিট এবং আর্কিং প্রতিরোধ করার জন্য, পর্যায়ক্রমে স্পুটারিং ট্র্যাকের মাঝখানে এবং উভয় পাশে জমে থাকা থুতু অপসারণ করা প্রয়োজন,

এটি ব্যবহারকারীদের z উচ্চ শক্তির ঘনত্বে ক্রমাগত স্পুটার করতে সহায়তা করে

7, টার্গেট স্টোরেজ

গাওজান ধাতু দ্বারা প্রদত্ত লক্ষ্যগুলি ডবল-লেয়ার ভ্যাকুয়াম প্লাস্টিকের ব্যাগে প্যাকেজ করা হয়।আমরা পরামর্শ দিই যে ব্যবহারকারীরা ভ্যাকুয়াম প্যাকেজিং-এ ধাতু বা সিরামিক হোক না কেন লক্ষ্যগুলি রাখে৷বিশেষ করে, বন্ধন লক্ষ্যগুলিকে ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে সংরক্ষণ করা দরকার যাতে বন্ধন স্তরের অক্সিডেশন বন্ধনের গুণমানকে প্রভাবিত করে।ধাতব লক্ষ্যগুলির প্যাকেজিংয়ের বিষয়ে, আমরা পরামর্শ দিই যে Z পরিষ্কার প্লাস্টিকের ব্যাগে প্যাকেজ করা উচিত