স্পাটারিং টার্গেট ম্যাটেরিয়াল নির্বাচনের ক্ষেত্রে ভ্যাকুয়াম প্লেটিং মানুষের জন্য একটি সমস্যা হয়ে দাঁড়িয়েছে, বর্তমানে, স্পাটারিং লেপ, বিশেষ করে ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং লেপ দক্ষতার উন্নয়ন, বলা যেতে পারে যে কোন তথ্যের জন্য পাতলা ফিল্ম তৈরির উপাদান তৈরি করতে সক্ষম হবে। আয়ন বোমাবাজি দ্বারা, কারণ সাবস্ট্রেট ধরনের আবরণ প্রক্রিয়ায় লক্ষ্য উপাদান sputtering দ্বারা, sputtering ফিল্মের মানের উপর একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব আছে, অতএব, লক্ষ্য উপাদান প্রয়োজনীয়তা আরো কঠোর হয়.এখানে আমরা বেইজিং রিলাক্সেশনের সম্পাদকের সাথে ভ্যাকুয়াম আবরণে স্পটারিং লক্ষ্যের ভূমিকা সম্পর্কে শিখব
一、নির্বাচনের নীতি এবং লক্ষ্যবস্তুর শ্রেণিবিন্যাস
লক্ষ্য উপাদান নির্বাচনের ক্ষেত্রে, ফিল্ম নিজেই ব্যবহার করার পাশাপাশি, নিম্নলিখিত সমস্যাগুলিও বিবেচনা করা উচিত:
সমস্যা 1. ঝিল্লির ব্যবহার এবং কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা অনুসারে, লক্ষ্য উপাদানটির জন্য বিশুদ্ধতা, পত্রিকার বিষয়বস্তু, উপাদানের অভিন্নতা, যন্ত্রের নির্ভুলতা এবং আরও অনেক কিছুর প্রযুক্তিগত প্রয়োজনীয়তা পূরণ করা প্রয়োজন।
সমস্যা 2. ফিল্ম গঠনের পরে লক্ষ্য উপাদানের ভাল যান্ত্রিক শক্তি এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতা থাকা উচিত;
সমস্যা 3. প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিং ফিল্ম হিসাবে প্রতিক্রিয়া গ্যাসের সাথে সহজেই যৌগিক ফিল্ম তৈরি করা ফিল্ম উপাদানের জন্য প্রয়োজনীয়;
সমস্যা 4. লক্ষ্য এবং ম্যাট্রিক্সকে শক্তিশালী করার জন্য সেট করা প্রয়োজন, অন্যথায়, ম্যাট্রিক্সের সাথে ভাল আনুগত্য সহ ফিল্ম উপাদান গ্রহণ করা উচিত, প্রথমে নীচের ফিল্মের একটি স্তর স্পুটার করুন এবং তারপর প্রয়োজনীয় ফিল্ম স্তর প্রস্তুত করুন;
প্রশ্ন 5. ফিল্মের পারফরম্যান্সের প্রয়োজনীয়তা পূরণের ভিত্তিতে, লক্ষ্যের তাপীয় সম্প্রসারণ সহগ এবং ম্যাট্রিক্সের মধ্যে পার্থক্য যত কম হবে, তত ভাল, যাতে স্পুটারিং ফিল্মের তাপীয় চাপের প্রভাব কমানো যায়;
বেশ কিছু সাধারণভাবে ব্যবহৃত টার্গেটের প্রস্তুতি
(1) কোটি লক্ষ্য
একটি sputtering ফিল্ম উপাদান হিসাবে ক্রোমিয়াম শুধুমাত্র বেস উপাদান উচ্চ আনুগত্য সঙ্গে একত্রিত করা সহজ নয়, এবং ক্রোমিয়াম এবং অক্সাইড CrQ3 ফিল্ম, এর যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য, অ্যাসিড প্রতিরোধ এবং তাপ স্থিতিশীলতা ভাল।
বেইজিং রুইচি হাই-টেক কোং, লিমিটেড প্রধানত নিযুক্ত: টাইটানিয়াম টার্গেট জিরকোনিয়াম টার্গেট, অ্যালুমিনিয়াম টার্গেট, নিকেল টার্গেট, ক্রোমিয়াম টার্গেট, টাংস্টেন টার্গেট, মলিবডেনাম টার্গেট, কপার টার্গেট, সিলিকন টার্গেট, নাইওবিয়াম টার্গেট, ট্যানটালাম টার্গেট, টাইটানিয়াম-সিলিকন অ্যালয় টার্গেট, টাইটানিয়াম-নিওবিয়াম অ্যালয় টার্গেট, টাইটানিয়াম-টাংস্টেন অ্যালয় টার্গেট, টাইটানিয়াম-জিরকোনিয়াম অ্যালয় টার্গেট, নিকেল-ক্রোমিয়াম অ্যালয় টার্গেট, সিলিকা-অ্যালুমিনিয়াম অ্যালয় টার্গেট, নিকেল-ভ্যানডিয়াম অ্যালয় টার্গেট, ক্রোমিয়াম-অ্যালুমিনিয়াম-সিলিকন টারনারি অ্যালয় টার্গেট，Ti al si তিরনারি খাদ টার্গেট উপাদান, ব্যাপকভাবে প্রসাধন/হার্ড পৃষ্ঠ এবং কার্যকরী আবরণ, স্থাপত্য গ্লাস, ফ্ল্যাট ডিসপ্লে/অপটিক্যাল ফটোইলেকট্রিক, অপটিক্যাল স্টোরেজ, ইলেকট্রনিক্স, মুদ্রণ এবং অন্যান্য পেশায় ব্যবহৃত হয়।
পোস্টের সময়: জুন-02-2022